使用四极杆质谱仪进行气体和残余气体分析

气体成分分析装置

谱法是一种广泛使用的分析方法，用于观察物质的化学成分。我们的（残余）气体分析设备均具有相同的核心：四极杆质谱仪 (QMS)。

适用于各种应用

四极杆质谱仪 (QMS) 有多种配置和不同的外围设备，可以根据要求专门选择以适应应用领域。

基本上，分压是用质谱仪（也简称为RGA）测定的，而真空测量管则用于测量总压。只能测量气体 - 包括分析先前已蒸发的固体或液体物质。

设备选择的重要决策标准是：

通过将待检查的气体抽出，在真空室中将其降至低压，并通过电子碰撞进行电离。以这种方式产生的离子在滤质器中根据质荷比进行分离。高真空是这些工艺的强制性要求。因此，要分析气体的压力范围通常也决定了设计。

没有一种通用质谱仪能够涵盖所有可能的应用。无论压力如何，初始条件和分析目标都会有所不同。因此，在选择设备之前，有必要明确要解决的分析任务并定义您想要使用设备实现的目标。需要考虑的要求主要包括以下标准。