来源：今晚必中三码资料查询 发布时间：2024-10-08
高性能，适用于极端真空水平
涡轮分子泵是与前级泵结合使用的高速泵，可实现极高的真空水平。 它们提供无油真空并且非常节能。 涡轮分子泵应用于等离子蚀刻、表面分析和高真空镀膜技术等要求严苛的领域。
