适用于多种应用的多级罗茨泵

多级罗茨泵的无摩擦泵模块不需要润滑剂或密封材料。 这有助于确保泵无颗粒、极其可靠且长期稳定。 由于分布在多个罗茨级上，它们也可以在大气压力下运行。 它们还具有运行成本低的特点，非常适合半导体行业、研究和开发以及大型真空系统中的应用。